ドイツのメーカー、F&K Delvotec社のワイヤーボンダー、ボンディング ツールの振動/振幅測定装置、トランスデューサー テストシステム、超音波発振器などの製品案内
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ワイヤーボンダー
ワイヤーボンダー フルオート
ワイヤーボンダー セミオート
ワイヤーボンダー マニュアルセミオート
テスト装置
ダイボンダー
超音波発振器 ODS TTS
接着剤、ボンディングツール
セミオートマティックワイヤーボンダー アルミリボン線 5650HR
セミオートマティックワイヤーボンダー アルミリボン線 5650HR
セミオートマティックワイヤーボンダー アルミリボン線 5650HR
セミオートマティックワイヤーボンダー アルミリボン線 5650HR
MODEL5650HRセミオートマティックワイヤーアルミリボン線用ウェッジウエッジボンダーは、マニュアル/セミオートタイプのMODEL5450とオートマティックマシンの中間に位置する装置です。全てPCでコントロールされ、複数のワイヤーボンドのプログラムが可能です。CCDカメラのクロスヘアーでチップや基板の位置をティーチングした後、自動で複数のワイヤーボンディングを行います。シングルボンドモード:さまざまなボンディングサンプルの修正もしくは1本のワイヤーのボンディングを行う。(マニュアルオートマティック動作)。マルチワイヤーモード:複数のデバイス、チップに複数のワイヤーボンドを行うことが可能。(セミオート、フルオート動作)、簡単なボンドヘッドの交換とそれに適したソフトウェアを立ち上げることにより、ボールーウェッジもしくは太線ウェッジボンダー、プル/シェアテスターとしても使用可能なフレキシブルな設備です。機能交換に要する時間は、約5分程です。
X、Y テーブル  
ワークエリア 100 x 100 mm
分解能
0.25 μm
繰り返し精度
2 μm以上
Z軸
60 mm

スピード
全方向 0.2...16 mm/sの間でプログラム可能
≦30 ワイヤー / 分
ボンドヘッド
アルミ線リボンワイヤー ウェッジ−ウェッジ対応±360°
ロータリーヘッド
90°クイックチェンジワイヤーガイド&カッター
ボンド荷重3500cNまで、 プログラム可

超音波システム
60KHz / 100kHz optional 140KHz
ワイヤーサイズ
500 μm(W) x 75 μm(T) 〜 2000 μm(W) x 300 μm(T)
ヒーター
マシンに搭載 0-250°C
コンピューター
シングルボード PC, 600 MHz Pentium processor, 256 MB RAM, ethernet, USB 4x, CD-ROM
モニター
15” TFT フラットスクリーン
15” TFT フラットスクリーン
Windows 2000

プリンター

Windowsで使用できる全てのプリンターは使用可能。
ボンディングパラメーターをプリント可能。
加熱式ワークホルダー :O 60mm、O 80mm and 4x4“
(オプション)
カメラ
ボンディングポジション設定用 クロスライン付
顕微鏡
オリンパス SZ51 スタンダード Leica S6 その他
メーカー顕微鏡
オプション
照明
20 W ハロゲンスポットライト 及び LED ダイレクトライト
外形寸法
高さ 70 cm, 幅 70 cm, 奥行65 cm; 重量 約 70 kg
電源
100...240 VAC, 単相, 50/60 Hz, 最大. 500 VA
コネクション
エアー 6 bar; バキューム0,7 bar
PRU(自動画像認識ユニット)
オプション

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